真空表面處理機(jī)相關(guān)的安全預(yù)防措施

              1、關(guān)閉小型真空等離子表面處理機(jī)設(shè)備電源開關(guān)，切斷總電源保護(hù)器。
              2、關(guān)閉所有的氣體。
              3、準(zhǔn)備必要的工具包。
              4、是維護(hù)保養(yǎng)真空腔和真空發(fā)生系統(tǒng)：
              （1）真空腔是加工工件的工作區(qū)域，使用一定時間后，空腔內(nèi)會殘留部分污物，這些污物附著在電極板和空腔壁上。
清洗方法：連續(xù)使用一定時間后，用無塵布(紙)沾酒精清洗所有的電極板和腔壁，保持腔壁清潔。
              （2）觀察窗是指工作人員在工作時觀察真空等離子表面處理機(jī)腔體內(nèi)放電的用的，在使用了氣體蝕刻之后，會造成觀察窗的表面發(fā)生微蝕，使觀察窗變得模糊。在線等離子清洗機(jī)在清洗對象的工藝處理效率

一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，可以提高整個工藝流水線處理效率;

二、在線等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；

三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；

四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

五、使用在線等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點；

六、在線等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

七、使用在線等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；

八、在線等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體氧化物，還是高分子材料都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；

九、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。等離子清洗機(jī)在運行的時候應(yīng)該要注意哪些事項呢?

1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運行參數(shù),按時設(shè)備使用說明書來執(zhí)行;

2、保護(hù)好等離子體的點火裝置,以確保等離子清洗機(jī)可以正常的啟動;

3、等離子設(shè)備在啟動前的準(zhǔn)備工作,要對相關(guān)的人員進(jìn)行培訓(xùn),同時確保操作等離子清洗機(jī)的人員可以按照要求嚴(yán)格執(zhí)行各項操作;

4、在一次風(fēng)管沒有通風(fēng)的時候,等離子體的發(fā)生器運行時間不能超過設(shè)備說明書上面要求的時間,防止燒壞燃燒器,造成不必要的損失;

5、如果需要對等離子設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時請將等離子發(fā)生器進(jìn)行斷電后再進(jìn)行相應(yīng)的操作。