等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內(nèi)所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發(fā)生著臭氧的分解反應。
臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩(wěn)定狀態(tài)，所以臭氧沒有二次污染。

如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產(chǎn)生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產(chǎn)生，所以我們在使用按接電方法不同，等離子弧有三種形式：
①非轉(zhuǎn)移?。褐冈陉帢O和噴嘴之間所產(chǎn)生的等離子弧。這種情況正極接在噴嘴上，工件不帶電，在陰極和噴嘴的內(nèi)壁之間產(chǎn)生電弧，工作氣體通過陰極和噴嘴之間的電弧而被加熱，造成全部或部分電離，然后由噴嘴噴出形成等離子火焰(或叫等離子射流)。
等粒子噴涂采用的就是這類等離子弧。
②轉(zhuǎn)移弧：電弧離開噴槍轉(zhuǎn)移到被加工零件上的等離子弧。這種情況噴嘴不接電源，工件接正極，電弧飛越噴槍的陰極和陽極（工件）之間，工作氣體圍繞著電弧送入，然后從噴嘴噴出。
等離子切割，等離子弧焊接，等離子弧冶煉使用的是這類等離子弧。
③聯(lián)合弧:非轉(zhuǎn)移弧引燃轉(zhuǎn)移弧并加熱金屬粉末，轉(zhuǎn)移弧加熱工件使其表面產(chǎn)生熔池。這種情況噴嘴，工件均接在正極。等離子清洗機與傳統(tǒng)的工藝對比

1、能夠采用精準數(shù)控技術，清洗自動化程度高；具備高精度的控制裝置，時間控制的精度高；正確的等離子體清洗不會在其表面產(chǎn)生損傷層，產(chǎn)品表面質(zhì)量得以保證；清洗過程在真空環(huán)境中進行，這是一種環(huán)保清洗工藝不污染環(huán)境，且有效避免了人為因素的影響，清洗表面不會被二次污染。

2、諸多材料在需要進行粘合前，都要進行清洗改變其表面張力，提升粘合力。等離子物質(zhì)和表面有機污染物發(fā)生化學反應，形成廢氣被真空泵抽出，從而對清洗材料表面達到清洗的目的。經(jīng)測試表明清洗前和清洗后的表面張力的變化顯著，能夠有助于下一步粘結(jié)工序的操作。表面噴涂前對材料進行表面改性處理，能夠改善材料的噴涂效果。一些化學材料如PP或者其他化學材料，本身是疏水或者親水，卻也可以一樣通過上述工藝進行等離子清洗，對其材料表面進行改性，讓它的親水性或疏水性得到改善，便于下一步噴涂工藝。

3、等離子清洗機具有在線生產(chǎn)能力，并可實現(xiàn)全自動化。等離子體清洗是一種極為環(huán)保的工藝方法，基本不受幾何形狀的限制，可對粉劑、小零件、片材、無紡布、紡織品、軟管、中空體、印刷電路板等進行表面處理。對零部件不會發(fā)生機械改動，是一種無損工藝；且滿足無塵室等苛刻條件，使用方便靈活操作簡單，對各種形狀的零部件有著顯著的處理效果，工藝條件可控并且成本低、效果好、時間短。經(jīng)過處理的產(chǎn)品外觀不會受到等離子體處理的高低溫影響，零部件受熱較少。等離子清洗機具有運行成本低，工藝安全性和作業(yè)安全性高的優(yōu)點，也是一種處理后效果顯著的清洗工藝流程。