等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應(yīng)器內(nèi)所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應(yīng)形成臭氧分子，同時也發(fā)生著臭氧的分解反應(yīng)。
臭氧，化學(xué)分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)，所以臭氧沒有二次污染。

如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應(yīng)過程中就會產(chǎn)生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產(chǎn)生，所以我們在使用等離子設(shè)備中頻，射頻等離子處理機型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉(zhuǎn)鼓等真空等離子處理設(shè)備和噴射、準(zhǔn)輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設(shè)備；
等離子處理機具有高穩(wěn)定性、高性價比、高均勻性等諸多優(yōu)點。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結(jié)構(gòu)可以滿足不同形狀、不同材質(zhì)的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。
低溫等離子體表面處理設(shè)備、水平式低溫等離子體表面處理設(shè)備、卷對卷式低溫等離子體表面處理設(shè)備、以及大氣壓輝光放電表面處理設(shè)備等離子體技術(shù)表面接枝處理
以等離子體接枝聚合進(jìn)行材料表面改性，接枝層同表面分子以共價鍵結(jié)合，可獲得優(yōu)良、耐久的改性效果。美國曾將聚酯纖維進(jìn)行輝光放電等離子體處理與丙烯酸接枝聚合，改性后纖維吸水性大幅度提高，同時抗靜電性能也有改善。
行業(yè)應(yīng)用特點
●具有工藝簡單、操作方便、加工速度快、處理效果好、環(huán)境污染小、節(jié)能等優(yōu)點；
●等離子體技術(shù)在塑料元件的改性工藝中，提高了塑料的潤濕率；
●等離子體化技術(shù)應(yīng)用于塑料窗用玻璃、汽車百葉窗和氖燈、鹵天燈的反光鏡處理；
●滌綸纖維堅固耐穿，但其結(jié)構(gòu)緊密、吸水性差、難染色，采用低溫氮等離子體引發(fā)丙烯酰胺對滌綸織物進(jìn)行接枝改性，接枝后滌綸織物的上染百分率、染色深度及親水性都有明顯提高；
●用等離子體處理聚丙烯膜，引入氨基，再通過共價鍵接枝，固定上葡萄糖氧化酶，接枝率分別達(dá)52μg/cm2和34μg/cm2；
●等離子體對醫(yī)用材料表面處理，可引入氨基、羰基等基團(tuán)，生物活性物質(zhì)與這些基團(tuán)接枝反應(yīng)可固定于材料表面；