低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映，因此它們被用來對材料表面進(jìn)行改性處理。等離子表面處理技術(shù)進(jìn)行預(yù)處理的優(yōu)點和特性：
1、具有完全的“在線”集成能力（不干擾原有的工藝運行） 節(jié)能、低成本、環(huán)保
2、不會改變鋁箔的機械特性
3、可實現(xiàn)選擇性的、局部清洗
4、可對鋁箔進(jìn)行雙面處理
5、處理工序可以集成在卷繞裝置前等離子清洗機與常規(guī)濕式清洗比較的主要優(yōu)點是：

①將氧作為清洗劑，它價格低也不需要進(jìn)行處理;

②可連續(xù)供應(yīng)新鮮的處理氣體，不存在清洗劑的老化問題;

③封閉室式操作不要求特別的職業(yè)性安全措麓;

④因為不需要干燥，故能耗低;

⑤造成的廢料僅僅是少量的象CO2和H2O氣這樣的氣體。

因注意到的很重要的一點是無任何濺射發(fā)生。有機物的清洗僅僅由它同活性氧的化學(xué)反應(yīng)來實現(xiàn)。碳?xì)浠衔锏逆湻謳撞疥懤m(xù)被破壞，*終形成的CO2和H2O氣體被真空泵抽走。不與處理氣體反應(yīng)的無機材料當(dāng)然不會被清除。